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  量測儀可定義為一類具有可作3個方位移動的探測器，可在3個互相垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方法傳輸訊號，3個軸之移動量測系統（如光學尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器，三坐標測量儀是坐標測量儀中的一類。
  氣動量儀這種測量方法是利用光柵繞射所制成的量測系統又稱光學尺，其光線經過瞄準透鏡而映射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經擴大及修正后就可以展示出來，其系統及輸出信號情形。

  使用量測前準備應檢查空氣軸承壓力是不是足夠，安裝工件測頭選取及安裝，將恰當之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是不是會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）。鎖住各軸之恰當位置，量測使用應開啟處理機電源，啟開打印機開關，參考操作手冊，選取所需功能之指令進行量測，并讀取量測值。完成后注意事項有Z軸移到原先位置后鎖住，X,Y軸各移到中央鎖住，關電源及壓力閥，拿掉測頭并作恰當的保養。