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氣動(dòng)量儀測量誤差的表示方式有兩種：以量值表示，即以所測得量值與實(shí)際值之差表示，以這種方式表示的誤差稱為絕對(duì)誤差；以比值表示，即以絕對(duì)誤差與實(shí)際值之比表示，以這種方式表示的誤差稱為相對(duì)誤差，例如用激光干涉儀測長時(shí)，如其最大相對(duì)誤差為千萬分之一，則表示在規(guī)定條件下，測量1米長度的誤差應(yīng)不大于0.1微米。

氣動(dòng)量儀測量結(jié)果與被測長度真值的一致程度以精確度或準(zhǔn)確度表示。它是正確度和精密度的綜合，通常簡稱為精度。若已修正系統(tǒng)誤差，則精確度常用不確定度來表示。不確定氣動(dòng)量儀測量度表示由于存在測量誤差而對(duì)所測量值不能肯定的程度，以標(biāo)準(zhǔn)偏差表示其大小。

氣動(dòng)量儀測量中，常把多次測量被測長度后所得的數(shù)據(jù)取算術(shù)平均值作為測量結(jié)果。那是因?yàn)楦鶕?jù)概率論的大數(shù)定律，如果測量次數(shù)足夠多，那么就可以提高精密度。測量過程中隨機(jī)誤差的出現(xiàn)，基本上是遵循正態(tài)分布規(guī)律的。

此外，氣動(dòng)量儀還有對(duì)測量所得數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算以得到所需測量結(jié)果的數(shù)據(jù)處理。例如，用氣動(dòng)量儀量圓度，直接獲得的數(shù)據(jù)是相對(duì)某一圓心的半徑變化，因此需要按圓度定義作相應(yīng)的函數(shù)運(yùn)算才能得到圓度誤差。